多晶硅还原炉测温

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点击次数:369 更新时间:2019年01月19日15:02:31 打印此页 关闭

针对多晶硅还原炉内硅材料、硅化合物对红外线吸收的问题,以及观察窗上可能存在的无定型硅和硅油对红外线能量的衰减问题,使用雷泰(RAYTEK)专用Endurance双色测温仪。该采用双波长设计,通过接收两个相邻波长的红外能量做对比,能有效的抗击干扰,精确的反应硅棒的温度。Endurance双色测温仪能自适应硅棒直径的变化,高精度、高重复性的接收硅材料的热辐射,以适应硅棒直径大范围变化的状态。Exid II CT6防护等级,以适合现场防爆的工艺环境,并且还能有效隔绝现场电磁干扰。

1) 采用0.75~1/0.95~1.1微米的双比色波长,不但完全响应多晶硅的辐射波长(0.9~1.1),而且能有效的消除水和玻璃对红外线的阻挡。

5) 目镜/激光瞄准型探头防爆保护套采取防爆设计,达到Ex id II CT6防护等级。

10) 提供标准的420mA020mA)信号,方便的接入现场DCS系统,并提供485数字接口,能远程进行管理。

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